Synthesis of Co(OH)F@Al nanobelt array on various substrates for pyro-MEMS

材料科学 化学工程 微电子机械系统 钝化 纳米技术 氧化物 制作 蚀刻(微加工) 图层(电子) 冶金 医学 工程类 病理 替代医学
作者
Yuxiang Li,Xi Chen,Lei Zhang,Ruishan Han,Iftikhar Hussain,Xiaoxia Ma,Kaili Zhang
出处
期刊:Chemical Engineering Journal [Elsevier]
卷期号:466: 143192-143192 被引量:13
标识
DOI:10.1016/j.cej.2023.143192
摘要

Metastable intermolecular composites (MICs) composed by solid fuel and oxidizer can undergo violent redox reaction with release of huge amount of energy. Integration of MIC with microelectromechanical-system (MEMS) is of particular interest to meet the demand of miniaturization in modern pyrotechnic devices. Meanwhile, fluorine-containing oxidizers are favored in MIC owing to their potential to fluorinate the oxide passivation layer in common elemental fuels. Herein, Co(OH)F was employed for the first time as a novel fluorine-containing oxidizer in Al-based MIC. Vertically aligned Co(OH)[email protected] nanobelt arrays (NAs) with tunable morphology were successfully fabricated on a variety of substrates (Si, glass, Ni, Cu, Ti) via a facile hydrothermal synthesis followed by electron beam evaporation. The whole fabrication process is highly compatible with modern MEMS technology. The thermal behavior of pure Co(OH)F and Co(OH)[email protected] composites was comprehensively investigated by TG-DSC and a series of ex-situ and in-situ characterization. It was found that, Co(OH)[email protected] composites achieved main exothermal reaction before melting of Al regardless of morphology and equivalence ratio. This feature is attributed to the etching of Al2O3 shell by HF released from Co(OH)F which is termed as pre-ignition reaction. To elucidate the effect of micro-structure on the actual specific heat release, we proposed a phenomenological model which can be a reference for future micro-structure design of MIC.
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