Constructing and characterizing a novel MEMS-based Tuning Fork Gyroscope using PolyMUMPs

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作者
V. S. Selvakumar,L. Sujatha,Vishal Balasubramanian
出处
期刊:Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Nature]
卷期号:27 (7): 2847-2855 被引量:5
标识
DOI:10.1007/s00542-020-05129-5
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