SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
已入深夜，您辛苦了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！祝你早点完成任务，早点休息，好梦！
Constructing and characterizing a novel MEMS-based Tuning Fork Gyroscope using PolyMUMPs
陀螺仪
微电子机械系统
振动结构陀螺仪
音叉
验证质量
微电子
加速度计
计算机科学
电子工程
灵敏度（控制系统）
工程类
电气工程
声学
材料科学
航空航天工程
物理
光电子学
振动
操作系统
作者
V. S. Selvakumar,
L. Sujatha,
Vishal Balasubramanian
出处
期刊：
Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems
[Springer Nature]
日期：2021-01-03
卷期号：27 (7): 2847-2855
被引量：5
标识
DOI：10.1007/s00542-020-05129-5
求助该文献
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
更新
2025年影响因子查询已上线
(2025-6-18)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
专一的汉堡
发布了新的
文献求助
10
刚刚
彭彭
发布了新的
文献求助
10
刚刚
Again
发布了新的
文献求助
10
刚刚
情怀
的
应助
被
AAA
采纳，获得
30
2秒前
XY
完成签到
，获得积分
10
5秒前
dong
发布了新的
文献求助
10
5秒前
想早点下班
发布了新的
文献求助
10
6秒前
在水一方
的
应助
被
亿眼万年
采纳，获得
10
6秒前
干净的琦
的
应助
被
shishi
采纳，获得
10
7秒前
waynez
发布了新的
文献求助
10
9秒前
搜集达人
上传了
应助文件
9秒前
宣灵薇
完成签到
，获得积分
0
10秒前
xx
完成签到，获得积分
10
13秒前
在水一方
上传了
应助文件
14秒前
七木
发布了新的
文献求助
10
15秒前
聪慧的从雪
完成签到
，获得积分
10
16秒前
无极微光
的
应助
被
Sisyphus
采纳，获得
20
19秒前
亿眼万年
发布了新的
文献求助
10
19秒前
小马甲
的
应助
被
ame
采纳，获得
10
19秒前
好好吃饭
完成签到，获得积分
10
19秒前
Hello
的
应助
被
董宇涵
采纳，获得
10
20秒前
dzy
完成签到，获得积分
10
20秒前
打打
上传了
应助文件
22秒前
lhm
完成签到，获得积分
10
22秒前
lyt
完成签到，获得积分
10
22秒前
伴征阳
完成签到
，获得积分
10
23秒前
华仔
上传了
应助文件
23秒前
gstaihn
完成签到，获得积分
10
23秒前
谨慎的咖啡豆
完成签到，获得积分
10
24秒前
刘学林
发布了新的
文献求助
10
24秒前
Owen
的
应助
被
等乙天
采纳，获得
10
25秒前
好好吃饭
发布了新的
文献求助
10
26秒前
俊逸的汲
完成签到，获得积分
10
28秒前
干饭熊猫
发布了新的
文献求助
30
28秒前
青乔
发布了新的
文献求助
10
29秒前
科研通管家
关闭了
KamilahKupps
的
文献求助
29秒前
科研通管家
关闭了
KamilahKupps
的
文献求助
29秒前
希望天下0贩的0
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
30秒前
tiptip
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
30秒前
无奈的碧彤
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
30秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Modern Epidemiology, Fourth Edition
5000
Handbook of pharmaceutical excipients, Ninth edition
5000
Digital Twins of Advanced Materials Processing
2000
Weaponeering, Fourth Edition – Two Volume SET
2000
Polymorphism and polytypism in crystals
1000
Social Cognition: Understanding People and Events
800
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
工程类
纳米技术
有机化学
物理
生物化学
化学工程
计算机科学
复合材料
内科学
催化作用
光电子学
物理化学
电极
冶金
遗传学
细胞生物学
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
6027156
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
7674458
关于积分的说明
16184678
捐赠科研通
5174816
什么是DOI，文献DOI怎么找？
2768978
邀请新用户注册赠送积分活动
1752426
关于科研通互助平台的介绍
1638203
今日热心研友
含糊的尔槐
140
无奈的碧彤
140
tuanheqi
100
无极微光
2
80
tiptip
90
penxyy
4
50
风清扬
2
60
九月
4
Wind
40
干净的琦
40
nino
30
浮浮世世
30
小宋
20
ceeray23
2
pluto
10
谈笑间
10
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
含糊的尔槐
无奈的碧彤
tuanheqi
无极微光
tiptip
penxyy
风清扬
九月
Wind
干净的琦
nino
浮浮世世
小宋
ceeray23
pluto
谈笑间
皖公网安备34019202002308
