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Constructing and characterizing a novel MEMS-based Tuning Fork Gyroscope using PolyMUMPs

陀螺仪 微电子机械系统 振动结构陀螺仪 音叉 验证质量 微电子 加速度计 计算机科学 电子工程 灵敏度(控制系统) 工程类 电气工程 声学 材料科学 航空航天工程 物理 光电子学 振动 操作系统
作者
V. S. Selvakumar,L. Sujatha,Vishal Balasubramanian
出处
期刊:Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Nature]
卷期号:27 (7): 2847-2855 被引量:5
标识
DOI:10.1007/s00542-020-05129-5

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