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A study on the electrical and optical characteristics of IGZO films

材料科学无定形固体兴奋剂电阻率和电导率溅射镓薄膜光电子学纳米技术电气工程冶金化学结晶学工程类

作者

Tien-Chai Lin,Wen‐Chang Huang,Wei‐Che Lan

出处

期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Science+Business Media]
日期：2014-05-13 卷期号：25 (7): 3077-3084 被引量：8

标识

DOI：10.1007/s10854-014-1986-z

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