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Stepwise growth of crystalline MoS2 in atomic layer deposition
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作者
Ah-Jin Cho,
Seung Ho Ryu,
Jae Gyun Yim,
In‐hwan Baek,
Jung Joon Pyeon,
Sung Ok Won,
Seung‐Hyub Baek,
Chong‐Yun Kang,
Seong Keun Kim
出处
期刊:
Journal of Materials Chemistry C
[The Royal Society of Chemistry]
日期:2022-01-01
卷期号:10 (18): 7031-7038
被引量:8
标识
DOI:10.1039/d2tc01156e
摘要
Atomic layer deposition of MoS 2 reveals stepwise growth – ‘stop and go’ growth of MoS 2 – behavior where the surface migration energy of the adsorbates is significantly enhanced.
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