Effect of substrate temperature on the properties of plasma deposited silicon oxide thin films

材料科学 椭圆偏振法 基质(水族馆) 薄膜 折射率 氧化硅 分析化学(期刊) 等离子体增强化学气相沉积 化学计量学 沉积(地质) 托尔 光电子学 纳米技术 化学 氮化硅 物理 地质学 海洋学 古生物学 有机化学 热力学 生物 色谱法 沉积物
作者
E Yu Gusev,J Y Jityaeva,S. P. Avdeev,O A Ageev
出处
期刊:Journal of physics [IOP Publishing]
卷期号:1124: 022034-022034 被引量:2
标识
DOI:10.1088/1742-6596/1124/2/022034
摘要

Silicon oxide (SiOx) films were obtained from SiH4/NO2/Ar by plasma-enhanced chemical vapors deposition (PECVD) technique. Effect of substrate temperature on the properties of the deposited films have been presented. The substrate temperature of the deposition process varied from 150 to 450°C at fixed working pressure of 1000 mTorr and RF power of 10 W. The films were investigated by atomic force and scanning electron microscopies as well as laser ellipsometry. The grain size, root-mean-square roughness and refractive index of the films were in the range of 20-250 nm, 0.2-2.4 nm and 1.5-2.0, respectively. The refractive indices and stoichiometry of SiOx films are discussed using the Lorentz-Lorenz formula.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
李欣月完成签到,获得积分10
1秒前
2秒前
3秒前
3秒前
NexusExplorer应助大蒜头采纳,获得10
3秒前
小马甲应助梦溪采纳,获得10
4秒前
5秒前
难过千易发布了新的文献求助10
5秒前
5秒前
尊敬飞鸟完成签到 ,获得积分10
6秒前
一支布洛芬完成签到,获得积分20
6秒前
7秒前
Phoenix Hu发布了新的文献求助10
8秒前
8秒前
长乐完成签到,获得积分10
8秒前
9秒前
明矾发布了新的文献求助10
9秒前
11秒前
11秒前
11秒前
lll完成签到,获得积分10
12秒前
12秒前
13秒前
整齐的忆彤完成签到,获得积分10
14秒前
伊斯坦布尔的鱼应助叁肆采纳,获得10
16秒前
akjsi发布了新的文献求助10
16秒前
毛毛发布了新的文献求助10
16秒前
17秒前
17秒前
顺心的笑翠完成签到 ,获得积分10
18秒前
18秒前
科研通AI2S应助zy采纳,获得10
19秒前
思源应助晚来天欲雪采纳,获得10
19秒前
20秒前
思源应助酷酷的水儿采纳,获得10
21秒前
桂桂发布了新的文献求助10
21秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
21秒前
22秒前
乐乐应助坦率的大神采纳,获得10
27秒前
drtianyunhong完成签到,获得积分10
28秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 700
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3976177
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3520366
关于积分的说明 11202970
捐赠科研通 3256899
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1798535
邀请新用户注册赠送积分活动 877725
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 806516