Effect of substrate temperature on the properties of plasma deposited silicon oxide thin films

材料科学 椭圆偏振法 基质(水族馆) 薄膜 折射率 氧化硅 分析化学(期刊) 等离子体增强化学气相沉积 化学计量学 沉积(地质) 托尔 光电子学 纳米技术 化学 氮化硅 物理 地质学 海洋学 古生物学 有机化学 热力学 生物 色谱法 沉积物
作者
E Yu Gusev,J Y Jityaeva,S. P. Avdeev,O A Ageev
出处
期刊:Journal of physics [IOP Publishing]
卷期号:1124: 022034-022034 被引量:2
标识
DOI:10.1088/1742-6596/1124/2/022034
摘要

Silicon oxide (SiOx) films were obtained from SiH4/NO2/Ar by plasma-enhanced chemical vapors deposition (PECVD) technique. Effect of substrate temperature on the properties of the deposited films have been presented. The substrate temperature of the deposition process varied from 150 to 450°C at fixed working pressure of 1000 mTorr and RF power of 10 W. The films were investigated by atomic force and scanning electron microscopies as well as laser ellipsometry. The grain size, root-mean-square roughness and refractive index of the films were in the range of 20-250 nm, 0.2-2.4 nm and 1.5-2.0, respectively. The refractive indices and stoichiometry of SiOx films are discussed using the Lorentz-Lorenz formula.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
李健的小迷弟应助Loooong采纳,获得10
1秒前
。。发布了新的文献求助10
1秒前
Q华完成签到,获得积分10
1秒前
烟花应助激昂的渊思采纳,获得10
1秒前
铁铁发布了新的文献求助10
1秒前
2秒前
小麻薯发布了新的文献求助10
2秒前
夏之发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
joker完成签到,获得积分10
3秒前
山东及时雨完成签到,获得积分20
4秒前
4秒前
6秒前
Gemini完成签到,获得积分10
6秒前
vividkingking完成签到 ,获得积分10
6秒前
不想学习发布了新的文献求助10
6秒前
7秒前
大个应助biubiu采纳,获得30
7秒前
7秒前
7秒前
大个应助铁铁采纳,获得10
7秒前
8秒前
8秒前
小二郎应助风筝有风采纳,获得10
8秒前
lalala发布了新的文献求助10
8秒前
9秒前
积极的尔白完成签到 ,获得积分10
9秒前
麦克阿宇发布了新的文献求助10
10秒前
11秒前
Orange应助Derik采纳,获得10
11秒前
11秒前
CodeCraft应助12233采纳,获得10
12秒前
。。完成签到,获得积分10
12秒前
12秒前
文安发布了新的文献求助10
12秒前
13秒前
13秒前
奶油啵啵发布了新的文献求助10
13秒前
13秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
A Preliminary Study on Correlation Between Independent Components of Facial Thermal Images and Subjective Assessment of Chronic Stress 500
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 360
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3970724
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3515419
关于积分的说明 11178342
捐赠科研通 3250592
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1795372
邀请新用户注册赠送积分活动 875802
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 805181