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Atomic Force Microscopy characterization of electromechanical properties of RF acoustic bulk wave resonators

谐振器 材料科学 表征(材料科学) 声学显微镜 声波 纳米 原子力声学显微镜 原子力显微镜 声表面波 共振(粒子物理) 声学 显微镜 分辨率(逻辑) 非接触原子力显微镜 光电子学 光学 导电原子力显微镜 纳米技术 磁力显微镜 物理 复合材料 磁化 粒子物理学 量子力学 人工智能 磁场 计算机科学
作者
Álvaro San Paulo,X. Liu,J. Bokor
标识
DOI:10.1109/mems.2004.1290549
摘要

In this paper we demonstrate the ability of Atomic Force Microscopy (AFM) in combination with a lock-in detection technique for the characterization of the electromechanical properties of acoustic bulk wave resonators. In particular, this method is applied to study the mechanical frequency response and the acoustic mode shapes of the Agilent Technologies' Film Bulk Acoustic Resonator (FBAR). The mechanical resonance frequencies of the FBARs in the GHz range are measured in air, and the shape of the acoustic modes is obtained over 100/spl times/100 /spl mu/m areas with nanometer-scale lateral resolution and angstrom-scale vertical resolution.
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