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The metal-organic chemical vapor deposition and properties of III–V antimony-based semiconductor materials

锑化学气相沉积金属有机气相外延掺杂剂材料科学表征（材料科学）纳米技术第2组金属有机化学半导体沉积（地质）工程物理兴奋剂冶金化学光电子学外延有机化学物理地质学分子古生物学沉积物图层（电子）

作者

R. M. Biefeld

出处

期刊：Materials Science and Engineering R [Elsevier]
日期：2002-03-01 卷期号：36 (4): 105-142 被引量：131

标识

DOI：10.1016/s0927-796x(02)00002-5

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