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A review on effect of various high-k dielectric materials on the performance of FinFET device
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作者
J Naveen Ananda Kumar,
Shilpi Birla,
Garima Agarwal
出处
期刊：
Materials Today: Proceedings
[Elsevier]
日期：2022-11-30
卷期号：79: 297-302
被引量：18
标识
DOI：10.1016/j.matpr.2022.11.204
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