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Investigation on Localized Etching Behaviors of Polymer Film by Atmospheric Pressure Plasma Jets

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作者
Tao Wang,Xin Wang,Jiahao Wang,Shengquan Wang,Weizhi Yang,Meng Li,Liping Shi
出处
期刊：Plasma Chemistry and Plasma Processing [Springer Nature]
日期：2023-02-13
标识
DOI：10.1007/s11090-023-10315-0
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