Nitrogen Doped High Selectivity Amorphous Carbon Film for High Aspect Ratio Etch Process

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作者
Se Jun Park,Dohyung Kim,Song Yi Baek,Changsoo Lee,Jaehyun Kim,Sangho Roh,Jaesung Park,Se-Jin Kyung,Chulhwan Choi
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier]
卷期号:: 140582-140582
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2024.140582
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