Silicon photonic devices realized on refractive index engineered subwavelength grating waveguides-A review

栅栏 材料科学 光学 波导管 光子学 光电子学 折射率 谐振器 衍射光栅 平版印刷术 绝缘体上的硅 光刻 硅光子学 物理
作者
Nikolay L. Kazanskiy,Muhammad Ali Butt,Svetlana N. Khonina
出处
期刊:Optics and Laser Technology [Elsevier]
卷期号:138: 106863-106863 被引量:62
标识
DOI:10.1016/j.optlastec.2020.106863
摘要

It is a remarkable and straightforward approach to customize the dispersion and nonlinear properties of the photonic devices without varying the composition of the material by employing periodic segmented waveguide structures at the subwavelength level of the operational wavelength. This method addresses the diffraction limit and it is likely to engineer the waveguides as a uniform optical medium with an effective refractive index that relies on the waveguide geometry. In recent years, advances in lithographic technology in the semiconductor-on-insulator platform providing sub-100-nm patterning resolution have been renowned with many useful devices based on subwavelength structures. At the beginning of the paper, the modal characteristics of the subwavelength grating (SWG) waveguides are presented. And in afterwards, we provide an insight into noteworthy progress in the subwavelength grating (SWG) waveguides based devices for signal processing and sensing applications such as ring resonators for surface and bulk sensing, couplers, suspended membrane waveguides for mid-infrared applications, filters, and fiber-to-chip couplers.
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