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Effect of Non-Ionic Surfactant on Chemical Mechanical Planarization Performance in Alkaline Copper Slurry

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作者
Qinzhi Xu,Fei Yang,Lan Chen,He Cao
出处
期刊:International Journal of Precision Engineering and Manufacturing [Springer Nature]
卷期号:19 (11): 1585-1595 被引量:16
标识
DOI:10.1007/s12541-018-0186-9

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