Squeeze film air damping ratio analysis of a silicon capacitive micromechanical accelerometer

加速度计 电容感应 材料科学 复合材料 声学 光电子学 电气工程 工程类 计算机科学 物理 操作系统
作者
Yuming Mo,Lianming Du,Bingbing Qu,Bo Peng,Jie Yang
出处
期刊:Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Nature]
卷期号:24 (2): 1089-1095 被引量:11
标识
DOI:10.1007/s00542-017-3464-z

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