Review on Piezoelectric Actuators Based on High-Performance Piezoelectric Materials

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作者
Haonan Jin,Xiangyu Gao,Kaile Ren,Jinfeng Liu,Liao Qiao,Mingzi Liu,Wei Chen,Yuhang He,Shuxiang Dong,Zhuo Xu,Fei Li
出处
期刊:IEEE Transactions on Ultrasonics Ferroelectrics and Frequency Control [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:69 (11): 3057-3069 被引量:116
标识
DOI:10.1109/tuffc.2022.3175853
摘要

The piezoelectric actuator is a kind of actuation device that acts through the inverse piezoelectric effect. Due to advantages of high precision, low power consumption, compact size, and flexible structure design, they have a wide range of applications in optics, robotics, microelectromechanical systems, and so on. Piezoelectric materials are the core materials for piezoelectric actuators. In this review, recent developments in high-performance piezoelectric materials (HPMs) are introduced, including relaxor ferroelectric crystals, textured ceramics, piezoelectric metamaterials, and so on. The advances of piezoelectric actuators are introduced in this review based on the developments of those piezoelectric materials, where the relationship between the figure of merits of materials and the performance of actuators is also discussed. Finally, we present outlooks and challenges for piezoelectric materials and actuators.

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