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Temperature dependence of the Al-fill processes for submicron-via structures

材料科学 铝 薄板电阻 沉积（地质） 接触电阻 金属 光电子学 热的 复合材料 冶金 工程物理 图层（电子） 沉积物 气象学 古生物学 工程类 物理 生物
作者
Serge Weber,R. C. Iggulden,R. Schnabel,P. Weigand,D. Restaino,S. Brodsky,E.A Mehter,L. A. Clevenger
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier]
日期：1998-05-01 卷期号：320 (1): 63-66 被引量：7
标识
DOI：10.1016/s0040-6090(97)01066-3
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