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Polishing superhard material surfaces with gas-cluster ion beams

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作者
A.E. Ieshkin,K. D. Kushkina,Д.С. Киреев,Yu. A. Ermakov,V. S. Chernysh
出处
期刊：Technical Physics Letters [Springer Nature]
日期：2017-01-01 卷期号：43 (1): 95-97 被引量：18
标识
DOI：10.1134/s1063785017010205
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