发布文献求助

Mechanisms of acid generation from ionic photoacid generators for extreme ultraviolet and electron beam lithography

离子键合 阴极射线 电子束光刻 平版印刷术 极端紫外线 紫外线 极紫外光刻 电子 材料科学 抵抗 光化学 光电子学 光学 化学 物理 纳米技术 离子 激光器 核物理学 有机化学 图层（电子）
作者
Hanshen Xin,Kun Du,Jie Xue,Hanshen Xin,Jianhua Zhang,Haoyuan Li
出处
期刊：Physical Chemistry Chemical Physics [The Royal Society of Chemistry]
日期：2024-01-01 卷期号：26 (27): 18547-18556 被引量：2
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1039/d4cp01814a
摘要
The mechanisms of photoacid production from ionic photoacid generators for extreme ultraviolet and electron beam lithography are revealed.
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
鱼儿忆流年完成签到 ，获得积分10
刚刚
认真的焦完成签到 ，获得积分10
3秒前
5秒前
5秒前
daisy完成签到 ，获得积分10
8秒前
菜芽君完成签到，获得积分10
8秒前
丽莉发布了新的文献求助10
10秒前
Fei发布了新的文献求助30
12秒前
我是老大的应助被丽莉采纳，获得10
17秒前
行走在科研的小路上完成签到，获得积分10
18秒前
浩浩完成签到 ，获得积分10
18秒前
人类繁殖学完成签到 ，获得积分10
18秒前
20秒前
11完成签到 ，获得积分10
20秒前
英勇的红酒完成签到 ，获得积分10
21秒前
小文子完成签到 ，获得积分10
21秒前
刚好夏天完成签到 ，获得积分10
22秒前
zhangruixue0519完成签到 ，获得积分10
23秒前
李浅墨完成签到 ，获得积分10
24秒前
啊哈完成签到 ，获得积分10
25秒前
28秒前
嗯嗯嗯哦哦哦完成签到 ，获得积分10
30秒前
明理囧完成签到 ，获得积分10
33秒前
34秒前
Gavin完成签到，获得积分10
34秒前
丸子完成签到 ，获得积分10
35秒前
好好学习完成签到 ，获得积分10
37秒前
天真的莺完成签到，获得积分10
39秒前
Fei发布了新的文献求助30
40秒前
luo完成签到 ，获得积分10
40秒前
xingxing完成签到 ，获得积分10
40秒前
健壮问兰完成签到 ，获得积分10
42秒前
尊敬雪萍完成签到 ，获得积分10
45秒前
SciGPT的应助被linlin采纳，获得10
46秒前
mayimo完成签到，获得积分10
46秒前
jianrobsim完成签到，获得积分10
49秒前
chen完成签到 ，获得积分10
55秒前
忐忑的草丛完成签到，获得积分10
56秒前
七月星河完成签到 ，获得积分10
57秒前
朱冰蓝完成签到 ，获得积分10
57秒前
高分求助中
Sustainability in Tides Chemistry 2000
Microlepidoptera Palaearctica, Volumes 1 and 3 - 13 (12-Volume Set) [German] 1122
Дружба 友好报 (1957-1958) 1000
The Data Economy: Tools and Applications 1000
Regression-Based Normative Data for Psychological Assessment 700
Mantiden - Faszinierende Lauerjäger – Buch gebraucht kaufen 700
PraxisRatgeber Mantiden., faszinierende Lauerjäger. – Buch gebraucht kaufe 700
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3099819
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 2751281
关于积分的说明 7612331
捐赠科研通 2403098
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1275171
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 616276
版权声明 599053
Copyright © 2020-2024 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：826996720【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通