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Piezoelectric Properties of Aluminum Nitride for Thin Film Bulk Acoustic Wave Resonator

材料科学 压电 谐振器 氮化物 声学 薄膜 铝 光电子学 复合材料 纳米技术 图层（电子） 物理
作者
Nam Kuangwoo,Yun-Kwon Park,Ha Byeoung-Ju,Shim Dongha,Song Insang,Pak Jaemoon,Par Gwangseo
出处
期刊：Journal of the Korean Physical Society [Springer Nature]
日期：2005-09-30 卷期号：47 (92): 309-309 被引量：13
标识
DOI：10.3938/jkps.47.309
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