The Properties of Laser Annealed Dielectric Films

材料科学 电介质 激光器 复合材料 光电子学 工程物理 光学 物理
作者
AF Stewart,Arthur H. Guenther,Frederick E. Domann
出处
期刊:ASTM International eBooks [ASTM International]
卷期号:: 369-19 被引量:1
标识
DOI:10.1520/stp24446s
摘要

The annealing of dielectric thin film coatings has been explored in an attempt to identify the potential benefits of this method of post deposition treatment. Single layer coatings fabricated using several different deposition techniques were annealed and
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