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Microstructures and properties of Mo2N+MoS2 coatings deposited by direct current magnetron sputtering

微观结构 材料科学 纳米压痕 复合数 溅射沉积 涂层 复合材料 图层（电子） 溅射 腔磁控管 扫描电子显微镜 衍射 相（物质） 冶金 薄膜 纳米技术 光学 物理 有机化学 化学
作者
Li Sun,Ting Ruan,Zhigang Yuan,Q.F. Fang,Wenbang Gong,Xiao Wu,Mei Shunqi
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2020-04-27 卷期号：177: 109406-109406 被引量：6
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2020.109406
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