Advanced strategies for high activation in ion implanted 4H-SiC by laser annealing

退火(玻璃) 材料科学 光电子学 离子注入 激光器 离子 计算机科学 化学 冶金 光学 物理 有机化学
作者
Cristiano Calabretta,A. Pecora,Marta Agati,A. Muoio,Viviana Scuderi,S. Privitera,R. Reitano,Nicolò Piluso,Severino Alves,Simona Boninelli,Francesco La Via
标识
DOI:10.1109/eurosime60745.2024.10491439
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