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2D fin field-effect transistors integrated with epitaxial high-k gate oxide

材料科学 异质结 外延 光电子学 晶体管 鳍 电介质 氧化物 薄脆饼 栅氧化层 场效应晶体管 纳米技术 电气工程 电压 工程类 图层（电子） 复合材料 冶金
作者
Congwei Tan,Mengshi Yu,Junchuan Tang,Xiaoyin Gao,Yuling Yin,Yichi Zhang,Jingyue Wang,Xinyu Gao,Congcong Zhang,Xuehan Zhou,Liming Zheng,Hongtao Liu,Kaili Jiang,Feng Ding,Hailin Peng
出处
期刊：Nature [Springer Nature]
日期：2023-03-22 卷期号：616 (7955): 66-72 被引量：97
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1038/s41586-023-05797-z
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