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材料科学薄脆饼离子注入工程物理植入纳米技术半导体半导体工业工程伦理学离子光电子学制造工程工程类医学物理外科量子力学

作者

A. Renau

出处

期刊：MRS Advances [Springer Science+Business Media]
日期：2022-11-09 卷期号：7 (36): 1234-1240 被引量：6

标识

DOI：10.1557/s43580-022-00366-4

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