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Novel CeO2@MOF and its derived abrasives for rapid chemical mechanical polishing
材料科学
抛光
化学机械平面化
冶金
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作者
Shaoping Li,
Kai Feng,
Huidong Cui,
Zhaobo He,
Ruan Chi,
Yue Luo
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier]
日期：2024-12-02
卷期号：188: 109182-109182
被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2024.109182
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