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Effects of Bias Voltage on Microstructure and Properties of Vanadium Dioxide Films Deposited by DC Magnetron Sputtering

微观结构 材料科学 二氧化二钒 溅射沉积 钒 偏压 溅射 腔磁控管 高功率脉冲磁控溅射 光电子学 电压 化学工程 冶金 薄膜 纳米技术 电气工程 工程类
作者
Chuandong Zhang,Jie Bai,Yuanjun Guo,Yuanman Hu,Lei Liu,Hong Liu,Lang Hu,Yongneng Xiao,Qiang Wang,Zhenhuai Yang
出处
期刊：CrystEngComm [The Royal Society of Chemistry]
日期：2025-01-01
标识
DOI：10.1039/d4ce01211a
摘要
Vanadium dioxide (VO2) is a conventional semiconductor material with a phase transition, and its properties strongly depend on the preparation process. In this study, VO2 thin films were fabricated on...
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