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A high-breakdown-voltage β-Ga2O3 nanoFET with a beveled field-plate structure

斜面 材料科学 电压 击穿电压 领域（数学） 等离子体 复合材料 分析化学（期刊） 电气工程 机械工程 核物理学 化学 物理 纯数学 工程类 色谱法 数学
作者
Jeongmin Kim,Hyoung Woo Kim,In-Ho Kang,Jung-Hun Kim,Seokjin Ko,Jinho Bae,Jihyun Kim
出处
期刊：Journal of Materials Chemistry C [The Royal Society of Chemistry]
日期：2024-01-01 卷期号：12 (17): 6193-6200 被引量：1
标识
DOI：10.1039/d4tc00106k
摘要
The three-terminal off-state breakdown voltage of the β-Ga 2 O 3 nanoFET with beveled field-plate (FP) was obtained at +441 V, enhanced by downstream plasma-etched 60° h-BN FP structure.
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