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Preparation of pure hydrogenated amorphous silicon film via PECVD method as anode materials for high-performance lithium-ion batteries

材料科学 阳极 硅 等离子体增强化学气相沉积 非晶硅 无定形固体 锂（药物） 一氧化硅 化学工程 退火（玻璃） 纳米技术 复合材料 光电子学 晶体硅 电极 化学 有机化学 物理化学 内分泌学 工程类 医学
作者
Binbin Shi,Yue Zou,Guojun Xu,Chuanbin Tu,Chenxin Jin,Fugen Sun,Yong Li,Hui Li,Lang Zhou,Zhihao Yue
出处
期刊：Solid State Ionics [Elsevier]
日期：2023-10-09 卷期号：402: 116366-116366 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.ssi.2023.116366
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