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Vapor-Phase Epitaxy of AlN Layers on AlN/Si(111) Templates Synthesized by Reactive Magnetron Sputtering

外延 材料科学 光电子学 溅射沉积 金属有机气相外延 氮化物 溅射 化学气相沉积 相（物质） 气相 薄膜 纳米技术 图层（电子） 化学 有机化学 物理 热力学
作者
В. Н. Бессолов,N. D. Gruzinov,M. E. Kompan,E. V. Konenkova,V. N. Panteleev,S. N. Rodin,M. P. Shcheglov
出处
期刊：Technical Physics Letters [Springer Nature]
日期：2020-04-01 卷期号：46 (4): 382-384
标识
DOI：10.1134/s1063785020040185
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