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The Kinetic Investigation of the Deposition of Alumina and Aluminosilicates from Mixtures of SiCl4, AlCl3, CO2, and H2

四氯化硅 硅酸铝 材料科学 化学气相沉积 沉积（地质） 铝 硅 化学工程 催化作用 无机化学 氢 冶金 纳米技术 有机化学 化学 古生物学 沉积物 工程类 生物
作者
Stephanos F. Nitodas,Stratis V. Sotirchos
出处
期刊：MRS Proceedings [Springer Nature]
日期：1998-01-01 卷期号：555
标识
DOI：10.1557/proc-555-141
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