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Safer and effective alternatives to perfluoroalkyl-based surfactants in etching solutions for the semiconductor industry

肺表面活性物质接触角化学润湿氟化铵水溶液化学工程无机化学材料科学有机化学生物化学工程类

作者

Rashmi Sharma,Shreyas Shelke,Mohammad Bagheri Kashani,Gregory Morose,Christopher Christuk,Ramaswamy Nagarajan

出处

期刊：Journal of Cleaner Production [Elsevier]
日期：2023-06-21 卷期号：415: 137879-137879 被引量：16

标识

DOI：10.1016/j.jclepro.2023.137879

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