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Enhanced Field-Assisted Passivation and Optical Properties Improvement of PECVD Deposited SiNx:H Thin Film

钝化 等离子体增强化学气相沉积 材料科学 薄膜 光电子学 纳米技术 图层（电子）
作者
Alamgeer,Hasnain Yousuf,Muhammad Quddamah Khokhar,Rafi Ur Rahman,Chu Mengmeng,Maha Nur Aida,Polgampola Chamani Madara,Jaljalalul Abedin Jony,Seokjin Jang,Junhan Bae,Salisu Mohammed,Sangheon Park,Junsin Yi
出处
期刊：Optical Materials [Elsevier BV]
日期：2025-03-03 卷期号：162: 116885-116885
标识
DOI：10.1016/j.optmat.2025.116885
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