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Enhanced Field-Assisted Passivation and Optical Properties Improvement of PECVD Deposited SiNx:H Thin Film

钝化等离子体增强化学气相沉积材料科学薄膜光电子学纳米技术图层（电子）

作者

Alamgeer,Hasnain Yousuf,Muhammad Quddamah Khokhar,Rafi Ur Rahman,Chu Mengmeng,Maha Nur Aida,Polgampola Chamani Madara,Jaljalalul Abedin Jony,Seokjin Jang,Junhan Bae,Salisu Mohammed,Sangheon Park,Junsin Yi

出处

期刊：Optical Materials [Elsevier]
日期：2025-03-03 卷期号：162: 116885-116885

标识

DOI：10.1016/j.optmat.2025.116885

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