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Study on mechanism and characteristics of laser repair of surface damage after ultra-precision grinding of monocrystalline silicon

单晶硅研磨材料科学机制（生物学）激光器硅光电子学光学冶金物理量子力学

作者

Guoyan Sun,Cui Deng,Hao Wei,Jianke Zhao,Mingxu Fan,Jiaoteng Ding,Xiabin Ji

出处

期刊：Optics and Laser Technology [Elsevier]
日期：2025-02-22 卷期号：186: 112660-112660

标识

DOI：10.1016/j.optlastec.2025.112660

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