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Thermoelectric Hydrogen Sensor Based on SiGe Thin Film

材料科学 热电效应 薄膜 光电子学 氢传感器 氢 复合材料 工程物理 纳米技术 工程类 化学 钯 催化作用 物理 生物化学 有机化学 热力学
作者
Kazuki Tajima,Fabin Qiu,Woosuck Shin,Naoya Sawaguchi,Noriya Izu,Ichiro Matsubara,Norimitsu Murayama
出处
期刊：Key Engineering Materials 日期：2004-08-01 卷期号：269: 117-120 被引量：5
标识
DOI：10.4028/www.scientific.net/kem.269.117
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