Film-edge-induced stress in substrates

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作者
S. M. Hu
出处
期刊:Journal of Applied Physics [American Institute of Physics]
卷期号:50 (7): 4661-4666 被引量:213
标识
DOI:10.1063/1.326575
摘要

The problem of film-edge-induced stress in substrates has been analyzed self-consistently by allowing a distributed force in the film. The distributed force arises from the relaxation of the film strain, which is complementarily coupled to the substrate strain under the film force. The results are compared to those from a concentrated-edge-force approximation.
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