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Efficient stress relief in GaN heteroepitaxy on Si(111) using low-temperature AlN interlayers

材料科学 应力松弛 化学气相沉积 解耦（概率） 压力（语言学） 金属有机气相外延 氮化物 外延 相（物质） 薄膜 沉积（地质） 复合材料 光电子学 图层（电子） 蠕动 纳米技术 化学 古生物学 语言学 哲学 有机化学 控制工程 沉积物 工程类 生物
作者
A. Reiher,J. Bläsing,A. Dadgar,A. Diez,A. Krost
出处
期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier]
日期：2002-12-28 卷期号：248: 563-567 被引量：116
标识
DOI：10.1016/s0022-0248(02)01880-8
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