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Deposition of Compound Thin Films

材料科学 薄膜 沉积（地质） 光电子学 纳米技术 化学气相沉积 蒸发 薄膜晶体管 溅射 图层（电子） 沉积物 生物 热力学 物理 古生物学
作者
Kiyotaka Wasa,Makoto Kitabatake,Hideaki Adachi
出处
期刊：Elsevier eBooks [Elsevier]
日期：2004-01-01 卷期号：: 191-403 被引量：7
标识
DOI：10.1016/b978-081551483-1.50006-x
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