Principles of Plasma Discharges and Materials Processing

等离子体 扩散 材料科学 等离子体处理 原子物理学 动能 碰撞理论 等离子体刻蚀 粒子(生态学) 化学 沉积(地质) 碰撞 蚀刻(微加工) 热力学 物理 纳米技术 经典力学 核物理学 沉积物 图层(电子) 古生物学 地质学 海洋学 生物 计算机科学 计算机安全
作者
M. A. Lieberman,A. J. Lichtenberg
链接
摘要

1. Introduction. 2. Basic Plasma Equations and Equilibrium. 3. Atomic Collisions. 4. Plasma Dynamics. 5. Diffusion and Transport. 6. DC Sheaths. 7. Chemical Reactions and Equilibrium. 8. Molecular Collisions. 9. Chemical Kinetics and Surface Processes. 10. Particle and Energy Balance in Discharges. 11. Capacitive Discharges. 12. Inductive Discharges. 13. Wave-Heated Discharges. 14. DC Discharges. 15. Etching. 16. Deposition and Implantation. 17. Dusty Plasmas. 18. Kinetic Theory of Discharges. Appendix A: Collision Dynamics. Appendix B: The Collision Integral. Appendix C: Diffusion Solutions for Variable Mobility Model.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
完美世界应助zz采纳,获得10
刚刚
细心的飞荷完成签到,获得积分20
1秒前
善学以致用应助Aliothae采纳,获得10
1秒前
2秒前
3秒前
CodeCraft应助羽生采纳,获得10
3秒前
饱满以松发布了新的文献求助10
3秒前
4秒前
Yeyuntian完成签到,获得积分10
4秒前
5秒前
加电时间发布了新的文献求助10
5秒前
6秒前
KComboN发布了新的文献求助10
6秒前
ZZ发布了新的文献求助10
6秒前
FashionBoy应助清脆乌采纳,获得10
7秒前
欣欣发布了新的文献求助30
8秒前
fang完成签到,获得积分10
8秒前
9秒前
元友容完成签到 ,获得积分10
9秒前
丘比特应助jj采纳,获得10
10秒前
cooper完成签到 ,获得积分10
10秒前
wjx发布了新的文献求助10
10秒前
10秒前
10秒前
11秒前
zxlllll发布了新的文献求助10
11秒前
11秒前
11秒前
爆米花应助陌路孤星采纳,获得10
11秒前
dddd关注了科研通微信公众号
11秒前
大个应助小周小周采纳,获得10
11秒前
13秒前
Rondab应助iFaceDOG采纳,获得10
13秒前
13秒前
yu发布了新的文献求助10
15秒前
li完成签到,获得积分10
15秒前
素言发布了新的文献求助10
15秒前
爱喝冰美式完成签到 ,获得积分10
16秒前
16秒前
SHD发布了新的文献求助10
16秒前
高分求助中
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 700
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
Effective Learning and Mental Wellbeing 300
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3974882
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3519431
关于积分的说明 11198315
捐赠科研通 3255698
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1797904
邀请新用户注册赠送积分活动 877237
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 806219