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High-Q Metamaterial Mid-IR Emitter on a Membrane Heater for Gas Sensing Applications

共发射极 发射率 超材料 光电子学 材料科学 CMOS芯片 红外线的 膜 光学 物理 化学 生物化学
作者
Alexander Lochbaum,Yuriy Fedoryshyn,Christian Hafner,Juerg Leuthold
标识
DOI：10.1364/sensors.2016.sew2f.6
摘要
We demonstrate mid-infrared, narrow-band thermal emission from a CMOS-compatible metamaterial perfect emitter integrated into a CMOS membrane heater with record-high quality factors up to 17 and emissivity values beyond 98 %.
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