Laser Precision Microfabrication

微加工 激光器 计算机科学 材料科学 光学 物理 医学 替代医学 病理 制作
出处
期刊:Springer series in materials science 被引量:145
标识
DOI:10.1007/978-3-642-10523-4
摘要

Miniaturization and high precision are rapidly becoming a requirement for many industrial processes and products. As a result, there is greater interest in the use of laser microfabrication technology
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