6-inch GaN-on-Si Fabrication Technolgies for Monolithic Microwave Integrated Circuits (MMICs)

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作者
Lu Hao,Jin Zhou,Xiaoyan Li,Hanghai Du,Weichuan Xing,Shouxin Zhang,Zhihong Liu,Yue Hao
标识
DOI:10.1109/icicdt63592.2024.10717751
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