Reaction Mechanism Analysis of Si Selective Etching for Gate-All-Around Transistors by Molecular Simulations

四甲基氢氧化铵 蚀刻(微加工) 材料科学 四甲基铵 氢氧化钾 分子动力学 各向同性腐蚀 反应离子刻蚀 离子键合 纳米技术 化学工程 离子 化学 图层(电子) 计算化学 有机化学 工程类
作者
Daisuke Yuhara,Keisuke Ikeda,Masayoshi Mikami,Kazuya Shiratori,Hiroyuki Shirae,Liwei An,Toshihiro Kasai
出处
期刊:Solid State Phenomena 卷期号:346: 74-79
标识
DOI:10.4028/p-l5ef0w
摘要

The selective etching of Si in multi-stacked Si and SiGe structures is a key process to fabricate the next-generation of FET, Gate-all-around FET. In this study, we investigated the mechanism of wet chemical etching process at the molecular level for two common ionic solutions, potassium hydroxide (KOH) and tetramethylammonium hydroxide (TMAH). One of the important factors in the etching process is the reaction rate between the water and Si surface. Therefore, the water dynamics in i) bulk system and ii) Si wall confined system were mainly analyzed using molecular dynamics simulations. As a feature of bulk, TMAH showed the larger hydration structure around cation and the lower mobility of water in the hydration shell compared to KOH. In the Si wall confined system, the water and ion dynamics on the OH-terminated Si surface were distinctive. TMAH showed the lower mobility of water as in bulk system. Furthermore, the concentration and long stay of cation near the Si surface were observed in TMAH. This behavior of cation may directly prevent water from contacting surface. These characteristics of TMAH may slow down the Si etching process. However, if the blocking effect for etching depends on the surface composition, it will be useful for selective etching.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
张土豆发布了新的文献求助10
刚刚
ppg123应助木穹采纳,获得10
刚刚
刚刚
周游发布了新的文献求助10
1秒前
我晕豆芽发布了新的文献求助10
1秒前
入眸完成签到,获得积分10
1秒前
科研dog完成签到,获得积分10
1秒前
小马过河应助ClaudiaCY采纳,获得10
1秒前
2秒前
传奇3应助尔尔采纳,获得10
2秒前
陈军应助小坤同学采纳,获得10
3秒前
hfhkjh发布了新的文献求助10
3秒前
英俊的铭应助yy采纳,获得10
3秒前
4秒前
Cathy发布了新的文献求助10
4秒前
罗rr完成签到 ,获得积分10
5秒前
xmd完成签到 ,获得积分10
5秒前
周博发布了新的文献求助10
6秒前
6秒前
7秒前
香蕉觅云应助方格采纳,获得10
7秒前
平淡的海秋完成签到,获得积分10
7秒前
8秒前
9秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
10秒前
Liufgui举报风之星求助涉嫌违规
10秒前
10秒前
Akim应助大面包采纳,获得10
10秒前
lemonkane完成签到,获得积分10
11秒前
赵维雪发布了新的文献求助10
11秒前
迎海完成签到,获得积分10
12秒前
小汤圆发布了新的文献求助10
12秒前
懂123发布了新的文献求助10
13秒前
周游发布了新的文献求助10
13秒前
absb发布了新的文献求助10
14秒前
carrotleah发布了新的文献求助10
14秒前
木穹完成签到,获得积分10
14秒前
15秒前
Flynn发布了新的文献求助10
15秒前
英勇的竺完成签到,获得积分10
16秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
‘Unruly’ Children: Historical Fieldnotes and Learning Morality in a Taiwan Village (New Departures in Anthropology) 400
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
基于可调谐半导体激光吸收光谱技术泄漏气体检测系统的研究 350
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 320
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3988827
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3531183
关于积分的说明 11252671
捐赠科研通 3269809
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1804780
邀请新用户注册赠送积分活动 881885
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 809021