Photolithography‐Based Microfabrication of Biodegradable Flexible and Stretchable Sensors (Adv. Mater. 6/2023)

微加工 光刻 材料科学 纳米技术 数码产品 导电的 光电子学 电气工程 制作 工程类 医学 替代医学 病理
作者
Mohammad Javad Bathaei,Rahul Singh,Hadi Mirzajani,Emin Istif,Muhammad Junaid Akhtar,Taher Abbasiasl,Levent Beker
出处
期刊:Advanced Materials [Wiley]
卷期号:35 (6) 被引量:1
标识
DOI:10.1002/adma.202370043
摘要

Microfabrication of Biodegradable Sensors In article number 2207081, Levent Beker and co-workers report a photolithography-based microfabrication process for bioresorbable devices. Consecutive application of sacrificial, adhesion and protection layers enable the use of delicate conductive and insulating bioresorbable materials through standard microfabrication processes. Using this approach, high-density passive electric components and chemical sensors critical for transient electronics and implant applications are developed.
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