Atomic layer annealing for modulation of the work function of TiN metal gate for n-type MOS devices

工作职能 材料科学 退火(玻璃) 原子层沉积 金属浇口 光电子学 薄膜 纳米尺度 MOSFET 结晶度 纳米技术 图层(电子) 栅氧化层 晶体管 冶金 电气工程 复合材料 电压 工程类
作者
Chun‐Yuan Wang,Chun‐Yi Chou,Han-Fang Shiue,Hsing-Yang Chen,Chen-Hsiang Ling,Jing‐Jong Shyue,Miin‐Jang Chen
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier]
卷期号:585: 152748-152748 被引量:9
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2022.152748
摘要

Tailoring the work function of metal gates at a low temperature is critical to the electronic performance of advanced nanoscale MOSFET devices. In this paper, the work function of TiN thin films is effectively altered by the atomic layer annealing (ALA) technique, i.e. the layer-by-layer, in-situ argon plasma treatment incorporated into each atomic layer deposition cycle. The density, stoichiometry, and crystallinity of TiN thin films can be significantly improved by the ALA treatment at a low temperature of only 300℃, which leads to a wide tunability of the work function from 4.52 to 4.03 eV of the TiN metal gate. The sufficiently low work function of 4.03 eV is highly favorable to the low power consumption in n-type MOSFETs. The result indicates that the ALA technique is an advantageous approach to modulating the physical and material properties of metal gates in nanoscale MOS devices by precise energy transfer with atomic-scale accuracy.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
lifescience1发布了新的文献求助10
刚刚
无花果应助活泼舞蹈采纳,获得10
刚刚
汉堡包应助lixl0725采纳,获得10
1秒前
陈梓发布了新的文献求助10
3秒前
不辞完成签到,获得积分10
3秒前
lemonfang发布了新的文献求助10
4秒前
现代的竺发布了新的文献求助10
5秒前
joezhang2023完成签到,获得积分10
6秒前
6秒前
方半仙完成签到,获得积分10
7秒前
7秒前
8秒前
FashionBoy应助科研通管家采纳,获得10
11秒前
Ava应助科研通管家采纳,获得10
11秒前
11秒前
完美世界应助科研通管家采纳,获得10
11秒前
CodeCraft应助科研通管家采纳,获得10
11秒前
星辰大海应助科研通管家采纳,获得10
11秒前
大模型应助科研通管家采纳,获得10
12秒前
今后应助科研通管家采纳,获得10
12秒前
listener应助科研通管家采纳,获得10
12秒前
手机应助科研通管家采纳,获得10
12秒前
12秒前
FashionBoy应助科研通管家采纳,获得10
12秒前
小木木壮应助科研通管家采纳,获得10
12秒前
12秒前
12秒前
12秒前
12秒前
Owen应助科研通管家采纳,获得10
12秒前
12秒前
山茶完成签到 ,获得积分10
13秒前
14秒前
15秒前
15秒前
Akim应助cici采纳,获得10
15秒前
15秒前
清晨完成签到,获得积分10
16秒前
zhang发布了新的文献求助10
16秒前
沉默烨霖完成签到,获得积分10
18秒前
高分求助中
Licensing Deals in Pharmaceuticals 2019-2024 3000
Effect of reactor temperature on FCC yield 2000
Very-high-order BVD Schemes Using β-variable THINC Method 1020
PraxisRatgeber: Mantiden: Faszinierende Lauerjäger 800
Near Infrared Spectra of Origin-defined and Real-world Textiles (NIR-SORT): A spectroscopic and materials characterization dataset for known provenance and post-consumer fabrics 610
Mission to Mao: Us Intelligence and the Chinese Communists in World War II 600
Promoting women's entrepreneurship in developing countries: the case of the world's largest women-owned community-based enterprise 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3304647
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2938674
关于积分的说明 8489391
捐赠科研通 2613136
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1427148
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 662899
邀请新用户注册赠送积分活动 647507