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On the phase formation of titanium oxide thin films deposited by reactive DC magnetron sputtering: influence of oxygen partial pressure and nitrogen doping

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作者
Ramanathaswamy Pandian,Gomathi Natarajan,S. Rajagopalan,M. Kamruddin,A.K. Tyagi
出处
期刊：Applied Physics A [Springer Nature]
日期：2014-03-16 卷期号：116 (4): 1905-1913 被引量：14
标识
DOI：10.1007/s00339-014-8351-1
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