Adhesion and reliability of copper interconnects with Ta and TaN barrier layers

材料科学 扩散阻挡层 阻挡层 氧化物 复合材料 粘附 电介质 互连 低介电常数 图层(电子) 胶粘剂 金属 扩散 金属化 光电子学 冶金 计算机网络 物理 计算机科学 热力学
作者
Michael Lane,Reinhold H. Dauskardt,Nety Krishna,Imran Hashim
出处
期刊:Journal of Materials Research [Springer Nature]
卷期号:15 (1): 203-211 被引量:172
标识
DOI:10.1557/jmr.2000.0033
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