已入深夜,您辛苦了!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整地填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您度过漫漫科研夜!祝你早点完成任务,早点休息,好梦!

Investigation of Electrical Properties of InGaN‐Based Micro‐Light‐Emitting Diode Arrays Achieved by Direct Epitaxy

材料科学 光电子学 泄漏(经济) 发光二极管 金属有机气相外延 二极管 化学气相沉积 蚀刻(微加工) 外延 干法蚀刻 制作 纳米技术 图层(电子) 经济 病理 替代医学 宏观经济学 医学
作者
Volkan Esendag,J. Bai,Peter Fletcher,Feng Peng,Chenqi Zhu,Yuefei Cai,Tao Wang
出处
期刊:Physica Status Solidi A-applications and Materials Science [Wiley]
卷期号:218 (24) 被引量:3
标识
DOI:10.1002/pssa.202100474
摘要

A systematic study has been conducted on a series of InGaN‐based micro‐light‐emitting diode (μLED) array samples which are achieved using the direct epitaxy overgrown approach on patterned templates by metalorganic chemical vapor deposition technique, where the diameters of the μLEDs are 40, 5, and 3.6 μm, respectively. The selective epitaxy approach allows to circumvent the major limitations of conventional fabrication methods of μLEDs which unavoidably introduce dry‐etching‐induced damages. Electrical characterizations are performed on the selective epitaxy overgrown μLEDs as well as conventional μLEDs fabricated using a standard dry‐etching method. For the overgrown μLEDs, the leakage current per μLED is smaller than those of the conventionally mesa‐etched μLEDs. It is worth highlighting that the single 3.6 μm μLED exhibits as low as a leakage current of 14.1 nA at a bias of −5 V. Moreover, in terms of leakage current density, the overgrown μLEDs exhibit much smaller and more consistent leakage than their mesa‐etched counterparts. Operational voltage RC constants also show more favorable to the overgrown devices than the conventionally mesa‐etched μLEDs.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
Otter完成签到,获得积分10
1秒前
WANG完成签到 ,获得积分10
2秒前
honeylaker完成签到,获得积分10
4秒前
5秒前
7秒前
遗忘完成签到,获得积分10
8秒前
风中的碧彤完成签到,获得积分10
9秒前
10秒前
萱萱发布了新的文献求助10
11秒前
科研通AI2S应助honeylaker采纳,获得10
12秒前
夏风下发布了新的文献求助10
13秒前
无花果应助优秀的枕头采纳,获得10
18秒前
20秒前
洁白的故人完成签到 ,获得积分10
23秒前
萱萱完成签到,获得积分10
23秒前
画个饼充饥完成签到,获得积分10
25秒前
伶俐的高烽完成签到 ,获得积分10
28秒前
慕子默完成签到,获得积分10
29秒前
36秒前
zzy完成签到 ,获得积分10
37秒前
38秒前
38秒前
辛夷发布了新的文献求助10
41秒前
only完成签到 ,获得积分10
41秒前
江姜酱先生完成签到,获得积分10
41秒前
Jasonjoey发布了新的文献求助10
41秒前
小真白发布了新的文献求助10
41秒前
充电宝应助科研通管家采纳,获得10
42秒前
SciGPT应助科研通管家采纳,获得10
42秒前
搜集达人应助科研通管家采纳,获得10
42秒前
aldehyde应助科研通管家采纳,获得10
42秒前
42秒前
大模型应助科研通管家采纳,获得10
42秒前
科研通AI5应助科研通管家采纳,获得50
42秒前
42秒前
Owen应助科研通管家采纳,获得10
42秒前
清欢完成签到,获得积分10
46秒前
Li发布了新的文献求助10
47秒前
Jasonjoey完成签到,获得积分10
49秒前
50秒前
高分求助中
The Mother of All Tableaux: Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 3000
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
基于可调谐半导体激光吸收光谱技术泄漏气体检测系统的研究 350
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 320
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3989989
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3532034
关于积分的说明 11256053
捐赠科研通 3270900
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1805105
邀请新用户注册赠送积分活动 882270
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 809216