Direct X-ray and electron-beam lithography of halogenated zeolitic imidazolate frameworks

材料科学 纳米技术 电子束光刻 纳米光刻 抵抗 平版印刷术 模版印刷 多孔性 下一代光刻 光刻 介孔材料 X射线光刻 光电子学 化学 制作 复合材料 催化作用 病理 医学 生物化学 替代医学 图层(电子)
作者
Min Tu,Benzheng Xia,Dmitry E. Kravchenko,Max L. Tietze,Alexander John Cruz,Ivo Stassen,Tom Hauffman,Joan Teyssandier,Steven De Feyter,Zheng Wang,Roland A. Fischer,Benedetta Marmiroli,Heinz Amenitsch,Ana Torvisco,Miriam de J. Velásquez‐Hernández,Paolo Falcaro,Rob Ameloot
出处
期刊:Nature Materials [Nature Portfolio]
卷期号:20 (1): 93-99 被引量:136
标识
DOI:10.1038/s41563-020-00827-x
摘要

Metal–organic frameworks (MOFs) offer disruptive potential in micro- and optoelectronics because of the unique properties of these microporous materials. Nanoscale patterning is a fundamental step in the implementation of MOFs in miniaturized solid-state devices. Conventional MOF patterning methods suffer from low resolution and poorly defined pattern edges. Here, we demonstrate the resist-free, direct X-ray and electron-beam lithography of MOFs. This process avoids etching damage and contamination and leaves the porosity and crystallinity of the patterned MOFs intact. The resulting high-quality patterns have excellent sub-50-nm resolution, and approach the mesopore regime. The compatibility of X-ray and electron-beam lithography with existing micro- and nanofabrication processes will facilitate the integration of MOFs in miniaturized devices. The low dielectric constants and high porosity of MOFs are of interest for applications in electronics and sensors, but patterning techniques for these materials are in their infancy. Here, direct X-ray and electron-beam lithography at sub-50-nm resolution are reported that leave porosity and crystallinity intact.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
mryun完成签到,获得积分10
1秒前
1秒前
tian发布了新的文献求助20
1秒前
1秒前
llllllll发布了新的文献求助10
1秒前
否认冶游史完成签到,获得积分10
1秒前
英姑应助渔夫采纳,获得10
1秒前
聂聪发布了新的文献求助10
2秒前
请叫我风吹麦浪应助猫猫采纳,获得10
2秒前
请叫我风吹麦浪应助猫猫采纳,获得10
2秒前
2秒前
xzz完成签到,获得积分10
3秒前
爱科研发布了新的文献求助10
4秒前
秀丽的千山关注了科研通微信公众号
4秒前
帅气的小兔子完成签到 ,获得积分10
4秒前
安琪完成签到,获得积分10
4秒前
期期完成签到,获得积分10
4秒前
5秒前
5秒前
罗山柳完成签到,获得积分10
6秒前
6秒前
彭于晏应助视野胤采纳,获得10
6秒前
6秒前
6秒前
深情安青应助咿咿呀呀采纳,获得10
6秒前
龙龙完成签到,获得积分10
7秒前
MR_Z完成签到,获得积分10
7秒前
蝉鸣完成签到,获得积分10
7秒前
7秒前
LY完成签到,获得积分10
7秒前
火山蜗牛完成签到,获得积分10
8秒前
可靠的海豚关注了科研通微信公众号
8秒前
酷炫小懒虫完成签到,获得积分0
9秒前
10秒前
冷静凌文完成签到,获得积分10
10秒前
10秒前
BeeC001完成签到,获得积分10
10秒前
LY发布了新的文献求助10
10秒前
10秒前
考博圣体完成签到 ,获得积分10
11秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
Cognitive Neuroscience: The Biology of the Mind 1000
Technical Brochure TB 814: LPIT applications in HV gas insulated switchgear 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
A Preliminary Study on Correlation Between Independent Components of Facial Thermal Images and Subjective Assessment of Chronic Stress 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3968964
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3513877
关于积分的说明 11170569
捐赠科研通 3249201
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1794692
邀请新用户注册赠送积分活动 875297
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 804755