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Enhanced Band-Tuning and Quality of Ni-Doped Ga2O3 Films via Low-Power RF Magnetron Sputtering
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作者
Chia‐Hsun Hsu,
Yuquan Zhu,
Rao Huang,
Pao-Hsun Huang,
Li Wang,
Yun-Shao Cho,
Shui‐Yang Lien
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2024-01-01
标识
DOI：10.1039/d4tc02882a
摘要
Low power density during radio-frequency (RF) magnetron of Ni-doped gallium oxide (Ga2O3) films offers notable advantages in terms of improved film quality and realizable band-tuning. In this research, the Ni-doped...
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