Effects of deposition precursors of hydrogenated amorphous carbon films on the plasma etching resistance based on mass spectrometer measurements and machine learning analysis

激进的 等离子体增强化学气相沉积 化学 四极杆质量分析仪 椭圆偏振法 分析化学(期刊) 化学气相沉积 无定形固体 反应离子刻蚀 质谱法 无定形碳 蚀刻(微加工) 薄膜 材料科学 纳米技术 有机化学 色谱法 图层(电子)
作者
Jumpei Kurokawa,Hiroki Kondo,Takayoshi Tsutsumi,Kenji Ishikawa,Makoto Sekine,Masaru Hori
出处
期刊:Vacuum [Elsevier]
卷期号:205: 111351-111351 被引量:11
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2022.111351
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
研友_VZG7GZ应助杳鸢采纳,获得10
刚刚
2秒前
2秒前
2秒前
CodeCraft应助百宝采纳,获得10
2秒前
JamesPei应助湘北采纳,获得10
4秒前
4秒前
5秒前
6秒前
6秒前
Shenliheng发布了新的文献求助10
6秒前
了了发布了新的文献求助10
7秒前
隐形曼青应助加油采纳,获得10
7秒前
7秒前
星辰大海应助安宁采纳,获得10
8秒前
萱1988发布了新的文献求助10
8秒前
嘉芮完成签到,获得积分10
8秒前
9秒前
陆啊陆发布了新的文献求助10
9秒前
追忆完成签到,获得积分10
10秒前
10秒前
uuuu发布了新的文献求助10
10秒前
11秒前
Ava应助Yang采纳,获得10
12秒前
12秒前
12秒前
Billy应助YiWeiYing采纳,获得30
13秒前
nini完成签到 ,获得积分10
13秒前
英俊的铭应助了了采纳,获得10
13秒前
tuanheqi应助鹤鸣采纳,获得50
13秒前
恩雁发布了新的文献求助10
13秒前
Lucas应助飞快的傲晴采纳,获得10
14秒前
饼冰饼发布了新的文献求助10
15秒前
15秒前
SWEETYXY发布了新的文献求助10
16秒前
科目三应助玥来玥好采纳,获得10
16秒前
桐月十六发布了新的文献求助10
17秒前
小马甲应助星辰采纳,获得10
18秒前
彭于彦祖应助尊敬的亿先采纳,获得30
18秒前
潇洒甜瓜发布了新的文献求助10
19秒前
高分求助中
Rock-Forming Minerals, Volume 3C, Sheet Silicates: Clay Minerals 2000
The late Devonian Standard Conodont Zonation 2000
Nickel superalloy market size, share, growth, trends, and forecast 2023-2030 2000
The Lali Section: An Excellent Reference Section for Upper - Devonian in South China 1500
The Healthy Socialist Life in Maoist China 600
The Vladimirov Diaries [by Peter Vladimirov] 600
Data Structures and Algorithms in Java 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3268088
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2907498
关于积分的说明 8342309
捐赠科研通 2578037
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1401619
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 655096
邀请新用户注册赠送积分活动 634162