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Grain boundary mediated leakage current in polycrystalline HfO2 films

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作者
Keith P. McKenna,Alexander L. Shluger,V. Iglesias,M. Porti,M. Nafrı́a,Mario Lanza,G. Bersuker
出处
期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier]
日期：2011-04-15 卷期号：88 (7): 1272-1275 被引量：111
标识
DOI：10.1016/j.mee.2011.03.024
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